Titulaires : Paul Charette et Luc Fréchette
Université : Université de Sherbrooke
La révolution engendrée par l’industrie de la microélectronique au cours des dernières décennies a donné naissance à une vaste gamme de systèmes miniaturisés qui font désormais partie du quotidien. Deux des domaines les plus importants des technologies en présence sont les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et la photonique intégrée (« lumière sur puce »). Elles sont au cœur des réseaux de télécommunications modernes et des applications en plein essor de l’Internet des objets (IdO).
Cette chaire de recherche principale, qui est détenue conjointement par les professeurs Paul Charette et Luc Fréchette, vise à intégrer des matériaux, procédés de fabrication et composants nouveaux ou améliorés dans la production industrielle de MEMS et de dispositifs microphotoniques à haute performance de prochaine génération. Des matériaux fonctionnels seront mis au point sur des outils industriels pour tranches de 200 mm, comme des couches minces piézoélectriques sans plomb perfectionnées pour les capteurs, les actionneurs et les récupérateurs d’énergie MEMS intégrés, ainsi que des couches minces thermorésistives pour les imageurs infrarouges peu couteux. Les procédés de fabrication pour l’intégration sur tranche et l’encapsulation seront améliorés grâce au développement de techniques de collage direct avec couches minces et de méthodes permettant l’encapsulation à faible cout des tranches sous vide. De plus, des microstructures photoniques destinées à l’imagerie seront mises au point pour accroitre la sensibilité des imageurs thermiques utilisant des antennes plasmodiques et introduire la sélectivité des longueurs d’onde pour l’imagerie hyperspectrale infrarouge. Des structures photoniques intégrées seront aussi élaborées pour tirer parti des plateformes de matériaux en nitrure d’aluminium et en nitrure de silicium destinées respectivement aux applications de photonique cohérente dans l’infrarouge moyen et lointain et aux applications de photonique quantique.
