Titulaire : Mathieu Massicotte
Université : Université de Sherbrooke
L’objectif général de cette chaire de recheche est d’exploiter les propriétés extraordinaires du graphène pour accroître les performances des circuits photoniques intégrés et étendre leurs champs d’application. L’intégration à grande échelle du graphène, dans les lignes de production industrielle constitue une étape cruciale vers la commercialisation d’une panoplie de technologies basée sur ce nanomatériau exceptionnel. Ainsi, la réalisation de cette programmation ambitieuse, qui s’inscrit dans une collaboration avec Teledyne DALSA et CMC Microsystèmes, contribuera à consolider la position enviable du Québec et la zone d’innovation (ZI) Technum Québec dans le domaine des technologies numériques.
Pour accomplir cet objectif de grande envergure, la programmation sera divisée en deux volets interreliés et novateurs :
- Volet 1 – Intégration du graphène sur la plateforme SiN : en employant les outils de la microélectronique, nous mettrons au point des procédés de transfert et de fabrication fiables et économiquement viables pour intégrer le graphène sur la plateforme SiN de manière compatible avec les standards industriels. À terme, ces techniques pourront être utilisées pour intégrer d’autres matériaux 2D à diverses plateformes technologiques, multipliant ainsi les possibilités de commercialisation des matériaux 2D.
- Volet 2 – Développement des composants actifs à base de graphène intégrés à la plateforme SiN : en utilisant les procédés développés dans le WP1, nous concevrons, fabriquerons et testerons des photodétecteurs ultrarapides à base de graphène intégrés à des guides d’ondes et structures photoniques en SiN, tels qu’illustré à la Figure 1. À terme, ces photodétecteurs pourront être fabriqués et commercialisés à grande échelle, ce qui contribuera à rendre la plateforme SiN plus compétitive face aux autres plateformes photoniques.
